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发明名称 Anisotropische Ablagerung von Dielektrika
摘要
申请公布号 DE69231390(D1) 申请公布日期 2000.10.05
申请号 DE19926031390 申请日期 1992.06.02
申请人 AT & T CORP., NEW YORK 发明人 YU, CHEN-HUA DOUGLAS
分类号 C23C16/50;C30B25/14;C30B25/16;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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