化学增强型正光刻胶组合物

摘要

一种有良好分辨率的正光刻胶组合物,包括如式(Ⅰ)代表的脂肪族锍盐的酸发生剂:Q¹代表烷基,Q²代表烷基或脂肪族烃的残基,m代表1到8的整数;至少一种鎓盐选自式(Ⅱa)表示的三苯基锍盐和式(Ⅱb)表示的二苯基碘鎓盐:Q³、Q⁴、Q⁵、Q⁶和Q⁷独立地代表氢、羟基、含1—6个碳原子的烷基,含1—6个碳原子的烷氧基,q和p代表4—8的整数;和(2)一种聚合单元有对酸不稳定的基团的树脂。

主权项

1.一种化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于包括：(1)一种含有下式(I)代表的脂肪族锍盐的酸发生剂：其中Q1代表烷基，和Q2代表烷基或脂环族烃的残基，m代表1到8的整数；至少一种鎓盐选自下式(IIa)表示的三苯基锍盐和下式(IIb)表示的二苯基碘鎓盐：其中Q3、Q4、Q5、Q6和Q7独立地代表氢、羟基、含1-6个碳原子的烷基，含1-6个碳原子的烷氧基，q和p代表4-8的整数；以及(2)一种聚合单元有对酸不稳定的基团的树脂，自身不溶或几乎不溶于碱，但在酸的作用下能变成溶于碱。