发明名称
摘要
申请公布号 JP3094945(B2) 申请公布日期 2000.10.03
申请号 JP19970123852 申请日期 1997.05.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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