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发明名称
摘要
申请公布号	JP3093408(B2)	申请公布日期	2000.10.03
申请号	JP19920000668	申请日期	1992.01.07
申请人		发明人
分类号	H01L21/768;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/768	主分类号	H01L21/768
代理机构		代理人
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