| 发明名称 |
REMOVING APPARATUS OF DEFAULT ON THE WAFER CHUCK TABLE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR200198418(Y1) |
申请公布日期 |
2000.10.02 |
| 申请号 |
KR19950003311U |
申请日期 |
1995.02.27 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
SEO, BYUM SIK |
| 分类号 |
H01L21/48;(IPC1-7):H01L21/48 |
主分类号 |
H01L21/48 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
