发明名称 FABRICATION PROCESS OF A STACK TYPE SEMICONDUCTOR CAPACITIVE ELEMENT
摘要
申请公布号 KR100266760(B1) 申请公布日期 2000.10.02
申请号 KR19970017894 申请日期 1997.05.09
申请人 NEC CORPORATION 发明人 AISO, FUMIKI;HITARO, TOSHIYUKI
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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