发明名称 THE STORAGE ELEVATOR OF WAFERS TRANSPORTER
摘要
申请公布号 KR200198273(Y1) 申请公布日期 2000.10.02
申请号 KR19970035279U 申请日期 1997.12.02
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 KO, JAE SAENG
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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