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发明名称
摘要
申请公布号
JP3093528(B2)
申请公布日期
2000.10.03
申请号
JP19930175502
申请日期
1993.07.15
申请人
发明人
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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