以量测线路电阻値决定线路宽度补偿値之方法

摘要

本发明系关于一种以量测线路电阻值决定线路宽度补偿值之方法，主要系先预设多道相同长度、厚度、电阻系数惟不同线宽之印刷线路，并实际量测其电阻值，根据 W(线宽)=[(P/t)×L(线长)]×1/R±σ(侧蚀量)关系换算出其与原底片上所设线路之宽度差异，亦即实际制程中之侧蚀量，利用该侧蚀量线路可于线路底片设计时预作补偿。又利用前述方法亦可作为材料(电阻系数/厚度)均匀性的评估。

主权项

1.一种以量测线路电阻値决定线路宽度补偿値之 方法,主要系经量测取得印刷线路之实际电 阻値,根据W(线宽)=[(fracrhot)L(线长)]frac1R(侧蚀 量)之关系式换算出线路之 平均线宽,并与原底片线路比较线宽差异以取得侧 蚀量。2.如申请专利范围第1项所述以量测线路电 阻値决定线路宽度补偿値之方法,该受量测电阻 値之印刷线路系位于印刷电路板上,供作线上品检 之用。3.如申请专利范围第1项所述以量测线路电 阻値决定线路宽度补偿値之方法,根据量测印刷 线路之实际电阻値R,而以frac1R对底片原设计线宽 绘成曲线图,并取得线性方程式以换算 得侧蚀量。4.如申请专利范围第1项所述以量测线 路电阻値决定线路宽度补偿値之方法,其运用于内 建 电阻制程时,系根据W(线宽)=[(fracrhot)L(线长)]frac1R (侧蚀量)关系式取得侧蚀量,并同时决定电阻材料 的 値。图式简单说明: 第一图:系本发明之测试基板示意图。 第二图:系本发明测试基板上各组线路之量测阻値 表。 第三图:系本发明量测阻値对底片线宽之曲线图。