DEVICE AND METHOD FOR DETECTING A WORKPIECE IN AN AUTOMATIC PROCESSING DEVICE

摘要

Die Erfindung stellt ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erkennung der Anwesenheit eines Werkstücks in einer automatischen Bearbeitungsvorrichtung bereit. Vorbekannte Erkennungseinrichtungen können nicht unter allen Bedingungen eine klare Unterscheidung zwischen der An- und Abwesenheit eines Werkstücks treffen. Es wird daher eine Vorrichtung bereitgestellt, die aus einem Ultraschallsender, einem Ultraschallempfänger und einem Detektionsmittel (Steuerung) besteht. Die Detektion, ob ein Werkstück in einer Halterung der Bearbeitungsvorrichtung gehaltert ist, erfolgt durch Beschallung der Halterung mit Ultraschallwellen, Empfang der reflektierten Ultraschallwellen und Detektion anhand der reflektierten Ultraschallwellen. Das Verfahren ist vorteilhaft besonders bei Poliermaschinen für Wafer einzusetzen, wo das Poliertuch sich im akustischen Reflexionsvermögen deutlich vom zu polierenden Wafer unterscheidet.