| 发明名称 |
Ic-compatible parylene mems technology and its application in integrated sensors |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU3522100(A) |
申请公布日期 |
2000.09.28 |
| 申请号 |
AU20000035221 |
申请日期 |
2000.03.10 |
| 申请人 |
CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
发明人 |
FUKANG JIANG;ZHIGANG HAN;XUAN-QI WANG;YU-CHONG TAI |
| 分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;B81B7/02;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L29/84 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
