Method of applying a light blocking layer between photoconductive layer and mirror during manufacture of an optically adressable spatial light modulator (OASLM)

摘要

Das erfindungsgemäße Verfahren ist auf die gezielte Beeinflussung der Eigenschaften der zu erzeugenden lichtblockierenden Schicht ausgerichtet. Erfindungsgemäß erfolgt das Aufbringen der lichtblockierenden Schicht (4) und das Aufbringen der photoleitenden Schicht (3) in einem gemeinsamen Verfahrensschritt, bei dem sowohl die Dicke und Zusammensetzung der auf die transparente Elektrode (2) aufzubringenden photoleitenden Schicht (3), als auch die Dicke und Zusammensetzung der auf die photoleitenden Schicht (3) aufzubringenden lichtblockierenden Schicht (4) durch eine zeitbezogene Änderung der Variation der Gaszusammensetzung während des Abscheidungsprozesses bestimmt wird. Die Struktur der des optisch adressierbaren, ortsauflösenden Lichtmodulatoren OASLM kann aufgrund des erfindungsgemäßen Verfahrens optimal an den vorgesehenen Verwendungszweck angepaßt werden. Damit ist es möglich, OASLM mit viellagigen Schichtenfolgen herzustellen. <IMAGE>