发明名称 Displacement detecting apparatus
摘要
申请公布号 EP0708311(B1) 申请公布日期 2000.09.27
申请号 EP19950116573 申请日期 1995.10.20
申请人 SONY PRECISION TECHNOLOGY INC. 发明人 TANAKA, TAKASHI;KUSUMI, MASAAKI
分类号 G01B7/00;G01D5/244;G01D5/245;(IPC1-7):G01D5/244;G01D3/02;H03M1/00 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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