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发明名称 SURFACE MODIFICATION OF SEMICONDUCTORS USING ELECTROMAGNETIC RADIATION
摘要
申请公布号 EP1038307(A1) 申请公布日期 2000.09.27
申请号 EP19980960398 申请日期 1998.11.19
申请人 QUESTER TECHNOLOGY, INC. 发明人 KHAN, ASHRAF, R.;RAMANATHAN, SASANGAN;FOGGIATO, GIOVANNI, ANTONIO
分类号 H01L21/316;H01L21/76;C23C16/02;H01L21/304;H01L21/31;H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/306 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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