| 发明名称 |
Workpiece cleaning element with improved rib configuration |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2348121(A) |
申请公布日期 |
2000.09.27 |
| 申请号 |
GB20000010453 |
申请日期 |
1998.10.27 |
| 申请人 |
* SPEEDFAM-IPEC CORPORATION |
发明人 |
ERIC * SHURTLIFF;THOMAS * WADDLE |
| 分类号 |
B08B1/04;H01L21/00;(IPC1-7):B08B1/04 |
主分类号 |
B08B1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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