发明名称 METHOD FOR ETCHING SILICON OXYNITRIDE AND INORGANIC ANTIREFLECTION COATINGS
摘要
申请公布号 EP1038309(A1) 申请公布日期 2000.09.27
申请号 EP19980960756 申请日期 1998.12.04
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 IONOV, PAVEL;KIM, SUNG, HO;LI, DEAN
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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