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发明名称 METHOD FOR THINNING SEMICONDUCTOR WAFERS WITH CIRCUITS AND WAFERS MADE BY THE SAME
摘要
申请公布号 EP1038315(A1) 申请公布日期 2000.09.27
申请号 EP19980957755 申请日期 1998.11.10
申请人 IRVINE SENSORS CORPORATION 发明人 ALBERT, DOUGLAS, M.;OZGUZ, VOLKAN, H.
分类号 H01L21/301;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/77;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
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