产生X射线或远紫外线激光的方法及其装置

摘要

本发明涉及一种产生Ｘ射线或远紫外线激光的方法及装置。脉冲式高压电源１０连接于液体刃２和阴极８之间。液体刃2被放置成平行于阴极８，当脉冲式高压电源１０发出一个高压脉冲时，在液体刃2和阴极８之间将会产生真空放电。在真空放电产生的等离子柱内会出现粒子数反转进而产生Ｘ射线或远紫外线受激放大发射。此外，把多个刃状液体阳极串联放在一条直线上可构成在行波模态下工作的大功率Ｘ射线或远紫外线激光发生装置。

主权项

1.一种产生X射线或远紫外线激光的装置，它包括：(1)刃状液体阳极结构，该结构包括：一个贮存液体材料的容器，该容器有一个槽形开口；一个液体材料输送和液体刃形成部件，该部件与该容器组合使得液体材料通过该容器的槽形开口输出，并形成液体刃；(2)一个放置于该刃状液体阳极结构对面的阴极；(3)脉冲式高压电源系统，该系统提供足够大电流的高压脉冲给该刃状液体阳极结构和该阴极，使其在该刃状液体阳极和阴极之间发生真空放电而形成等离子体，真空放电电流本身产生的磁场把该等离子体限制在一个细长的柱内，从该等离子柱内发射出X射线或远紫外线激光。