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发明名称
Apparatus and method for inspecting the edge micro-texture of a semiconductor wafer
摘要
申请公布号
EP0935134(B1)
申请公布日期
2000.09.27
申请号
EP19980101958
申请日期
1998.02.05
申请人
WACKER SILTRONIC
发明人
NICOLESCO, CLAUDIAN R.
分类号
G01N21/88;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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