钛酸锶钡薄膜材料的制备方法

摘要

本发明提供了一种钛酸锶钡薄膜材料的制备方法,其过程是:将醋酸钡、醋酸锶、钛酸丁酯、醋酸和乙酰丙酮以一定的摩尔比相混合配制成稳定的前驱体溶液,然后在Pt/Ti/SiO₂/Si基片上进行匀胶、热处理,在热处理过程中同时对薄膜施加辅助电场,重复上述过程,直到理想的厚度为止。本发明通过将每层凝胶膜热处理后的厚度控制在8到20纳米,实现异质成核、同质外延生长,从而形成大尺寸柱状晶粒的薄膜材料。本发明的薄膜材料可适于动态随机存储器、室温红外焦平面列阵等方面的应用。

主权项

1.一种钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3)薄膜材料的制备方法，其特征在于该制备方法依次包括如下步骤：(1).前驱体溶液配制：按照X∶(1-X)，0＜x＜1，摩尔比称取醋酸钡((CH3COO)2Ba)、醋酸锶((CH3COO)2Sr)，一起放入醋酸中，加热并搅拌，直至醋酸钡、醋酸锶完全溶解；量取与((CH3COO)2Ba+(CH3COO)2Sr)等摩尔量的乙酰丙酮加入醋酸钡、醋酸锶的醋酸溶液中，搅拌使之混合均匀；量取与((CH3COO)2Ba+(CH3COO)2Sr)等摩尔量的钛酸丁脂，加入到上面配制好的混合溶液中，搅拌均匀，然后用醋酸将溶液的浓度调节到0.05～0.1摩尔/升，放置5～10天，使之充分螯合，即获得稳定的前驱体溶液；(2).薄膜材料的制备：将前驱体溶液滴在基片上，用匀胶机将溶液均匀甩开，形成凝胶膜，甩胶速度为每分钟3000转到7000转，再将基片及凝胶膜放入退火炉中进行热处理，在250～300℃干燥、热解5～30分钟，然后在600～750℃下退火5～30分钟，在退火过程中施加2～4kV/cm的辅助电场，将每层匀胶膜热处理后的厚度控制在8～20纳米，重复以上旋涂、热处理过程直到薄膜厚度为300到800纳米为止。