Polishing machine with improved polishing pad structure,申请号US19980138573-传众专利搜索

发明名称	Polishing machine with improved polishing pad structure
摘要
申请公布号	US6123609(A)	申请公布日期	2000.09.26
申请号	US19980138573	申请日期	1998.08.24
申请人	NEC CORPORATION	发明人	SATOU, MASAKI
分类号	B24B37/00;B24B37/04;B24B37/20;B24B37/22;B24B37/24;B24D11/02;B24D13/14;H01L21/304;(IPC1-7):B24B29/00	主分类号	B24B37/00
代理机构		代理人
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