| 摘要 |
<p>본 고안은 웨이퍼 뒷면에도 확산 및 증착이 제대로 이루어지는 수직형 확산로의 보트에 관한 것으로서, 웨이퍼가 삽입되어 슬롯 바닥면에 지지되어 장착되는 슬롯이 형성된 로드를 구비하는 수직형 확산로의 보트에 있어서, 상기 슬롯 바닥면(106)에서 돌출하여 상기 웨이퍼(20)의 뒷면을 지지하는 면적을 좁게 하는 웨이퍼 지지 돌기(100)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 고안에 따른 웨이퍼 지지 돌기를 형성한 슬롯을 구비한 보트를 이용하면, 웨이퍼가 장착될 때 로드에 형성된 슬롯의 바닥면에서 돌출한 웨이퍼 지지 돌기로 웨이퍼가 지지되어 웨이퍼의 뒷면과 슬롯이 접하는 면적이 최소로 줄어 웨이퍼 뒷면에도 확산 및 증착이 제대로 이루어지며, 웨이퍼 뒷면에 슬롯 바닥면에 의해 생기는 자국이 줄어들어 제품의 품질이 향상될 수 있다.</p> |
