| 摘要 |
<p>본 고안은 웨이퍼 진공 고정장치를 개시한다. 본 고안은 상면에 진공라인이 형성된 고정판과, 웨이퍼를 상하방향으로 움직이는 리프트 핀을 구비한 웨이퍼 진공 고정장치에 있어서, 상기 고정판 상면에 빗면이 형성된 위치보상 수단을 원주상에 구비한 웨이퍼 진공 고정장치를 제공한다. 본 고안에 따르면, 위치보상 수단에 의해 웨이퍼가 고정판 위에 안착되면서 정상 위치로 유도되므로 고정판과 웨이퍼 사이에 진공이 완벽하게 형성되어 장비의 에러발생 빈도를 현저하게 줄일 수 있다.</p> |
