DISPENSE DETECTING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR HMDS COATER
摘要
<p>본 고안은 반도체 에치 엠 디 에스 도포장비의 분사감지장치에 관한 것으로, 질소가스공급라인(13) 상에 설치되어 있는 플로우미터(17)에 가스가 정상적으로 흐르는지를 검출하기 위한 감지수단을 설치하고, 비정상적으로 흐르는 경우에 이를 검출하여 알람을 울리도록 함으로서, 종래와 같이 공정가스가 웨이퍼에 정상적으로 공급되지 못하여 품질불량이 발생되는 것을 방지하는 효과가 있다.</p>
