| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 마킹장비의 온도조절시스템에 관한 것으로, 웨이퍼에 관한 정보를 인식할 수 있도록 마킹공정을 진행하기 위한 마킹수단과, 이 마킹수단으로부터 발생되는 고열을 냉각할 수 있도록 냉각수를 공급하는 냉각수 공급수단과, 상기 마킹수단으로부터 가열된 순수와 냉각수 공급수단으로부터 공급된 냉각수의 온도를 열교환시켜 주는 열교환수단과, 이 열교환수단에 의해 냉각된 순수를 여과시켜 다시 마킹수단으로 회수시키는 순수 회수수단을 포함하여 구성된 마킹장비에 있어서, 상기 냉각수 공급수단으로부터 열교환수단으로 냉각수를 공급하는 냉각수 공급관과 상기 열교환수단으로부터 냉각수 공급수단으로 냉각수를 회수하기 위한 냉각수 회수관을 상호 연결하는 연결관에 자동유량조절밸브를 설치하고, 상기 냉각수 공급수단의 일측에는 상기 냉각수 회수관으로 회수되는 냉각수의 온도 정보를 전달받아 상기 자동유량조절밸브의 작동을 제어하여 냉각수의 유량을 조절하여 마킹수단으로부터 가열된 순수를 냉각하도록 하는 온도조절기를 설치함으로써, 마킹수단으로부터 가열된 순수를 냉각하기 위해 냉각수 공급수단으로부터 공급되어 상기 가열된 순수와 열교환이 이루어지는 냉각수의 유량 조절을 자동으로 진행하여 순수의 온도를 조절하므로 냉각속도 및 시간을 단축하여 장비의 온도 안정화에 기여하게 된다.</p> |
