| 主权项 |
1.一种具有安全检测装置之狭缝阀门,该狭缝阀门系为一般晶圆制程反应时密封隔绝不同反应室之所需,乃系于一狭缝之两侧各别装设有讯号之接收器,于该狭缝阀门相对于狭缝两侧之接收之位置之一封合板的前缘两侧,则各别设置有一讯号之发射器,藉由该狭缝阀门之封合板的发射器与该狭缝之接收器成对之装置使用,可侦测该封合板之活动范围中,是否有异常物体存在,藉以提供一安全动作之参考。2.如申请专利范围第1项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,系以光作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所使用之发射器以及接收器,乃系为光发射器及光接收器。3.如申请专利范围第1项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,系以红外线作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,乃系为红外线发射器及红外线接收器。4.如申请专利范围第1项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,系以超音波作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,乃系为超音波发射器及超音波接收器。5.如申请专利范围第1项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,系以电磁感应作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,乃系为电磁感应发射器及电磁感应接收器。6.如申请专利范围第1项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之封合板乃系装置于一狭缝阀门之前端部位者。7.如申请专利范围第1项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之狭缝阀门,乃系设置于一转换室边缘,即该转换室之一侧缘系设置有一狭缝阀门者。8.一种具有安全检测装置之狭缝阀门,主要系于一狭缝阀门之两侧缘上装一设发射器与一接收器,其中一侧缘上设置有一讯号之发射器,另一侧缘上则设置有一讯号之接收器,即乃系为在该狭缝阀门之两侧缘上设置有一发射器及接收器,可侦测该狭缝阀门之封合板活动范围内是否有异物进入,避免一封合板于该狭缝阀门之活动范围内不当地碰撞损毁晶圆。9.如申请专利范围第8项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,系以光作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所使用之发射器以及接收器,乃系为光发射器及光接收器。10.如申请专利范围第8项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,系以红外线作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,乃系为红外线发射器及红外线接收器。11.如申请专利范围第8项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,系以超音波作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,乃系为超音波发射器及超音波接收器。12.如申请专利范围第8项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,系以电磁感应作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,乃系为电磁感应发射器及电磁感应接收器。13.如申请专利范围第8项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之封合板乃系装置于一狭缝阀门之前端部位者。14.如申请专利范围第8项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之狭缝阀门,乃系设置于一转换室边缘,即该转换室之一侧缘系设置有一狭缝阀门者。15.如申请专利范围第8项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,主要系于一狭缝阀门之两侧缘上,改为各别装设一对发射器与一对接收器,即于其中一侧缘之两端上,各别设置有一讯号之发射器;另一侧缘之两端上,则相对地各别设置有一讯号之接收器,即乃系为在该狭缝阀门之两侧缘上设置有一对发射器及一对接收器,可精确地侦测该狭缝阀门之封合板活动范围内是否有异物进入,以及可扩大侦测之范围,藉以避免一封合板于该狭缝阀门之活动范围内不当地碰撞损毁晶圆。16.一种具有安全检测装置之狭缝阀门,主要系于一狭缝阀门之一侧缘上装置有一讯号之发射器及接收器,即该发射器与接收器乃系设置于同一侧缘上,另一侧缘上则装设有一反射器,该反射器乃系接收该发射器所发射之讯号,之后再反射至该接收器中加以接收,可侦测该狭缝阀门之封合板活动范围内是否有异物进入,避免于一封合板之活动范围内有异物,进而不当地碰撞损毁晶圆。17.如申请专利范围第16项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,乃系以光作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所使用之发射器以及接收器,系为光发射器及光接收器。18.如申请专利范围第16项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,乃系以红外线作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,系为红外线发射器及红外线接收器。19.如申请专利范围第16项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,乃系以超音波作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,乃系为超音波发射器及超音波接收器。20.如申请专利范围第16项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,乃系以电磁感应作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,乃系为电磁感应发射器及电磁感应接收器。21.如申请专利范围第16项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之封合板乃系装置于一狭缝阀门之前端部位者。22.如申请专利范围第16项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之狭缝阀门,乃系设置于一转换室边缘,即该转换室之一侧缘系设置有一狭缝阀门者。23.一种具有安全检测装置之狭缝阀门,主要系将一发射器与接收器一同设置于狭缝阀门之外的位置,而并不设置于该狭缝阀门之侧缘边,另于该狭缝阀门之一侧缘上设置有一发射端,另一侧缘上则装设有一接收端,其中该发射端及接收端乃系各别藉由一光纤,而连接于该远端之发射器及接收器,作为讯号传导之媒介;藉由该光纤之传导至发射端及接收端,可侦测该狭缝阀门之封合板活动范围内是否有异物进入,避免于一封合板之活动范围内有异物,进而不当地碰撞损毁晶圆。24.如申请专利范围第23项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,乃系以光作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所使用之发射器以及接收器,系为光发射器及光接收器。25.如申请专利范围第23项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,乃系以红外线作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,系为红外线发射器及红外线接收器。26.如申请专利范围第23项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,乃系以超音波作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,乃系为超音波发射器及超音波接收器。27.如申请专利范围第23项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之讯号的发射器以及所配合之接收器,乃系以电磁感应作为该发射器及接收器之间讯号侦测之媒介者,即所述之发射器以及接收器,乃系为电磁感应发射器及电磁感应接收器。28.如申请专利范围第23项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之封合板乃系装置于一狭缝阀门之前端部位者。29.如申请专利范围第23项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之狭缝阀门,乃系设置于一转换室边缘,即该转换室之一侧缘系设置有一狭缝阀门者。30.一种具有安全检测装置之狭缝阀门,主要系于一狭缝阀门之一侧缘上装置有一近接开关,即为一单端设置之近接开关,该近接开关本身可发射讯号以及接受讯号,可于一定之距离内,侦测是否有异常物体进入此距离区域内,避免于一封合板之活动范围内有异物,免除不当地碰撞损毁晶圆。31.如申请专利范围第30项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之封合板乃系装置于一狭缝阀门之前端部位者。32.如申请专利范围第30项所述之具有安全检测装置之狭缝阀门,其中所述之狭缝阀门,乃系设置于一转换室边缘,即该转换室之一侧缘系设置有一狭缝阀门者。图式简单说明:第一图系为习用技术中揭示该狭缝阀门之一般设置的位置示意图。第二图系为习用技术中以一压缩乾燥空气推动一狭缝阀门之封合板与狭缝密合状态示意图。第三图系为本创作第一实施例中,于一封合板上设置发射器,以及于一狭缝之两侧各别设置接收器之实施示意图。第四图系为本创作第二实施例中,于不同于第一图、第二图之slitvalve之一狭缝阀门之两侧缘各别设置有一对发射器,以及一对接收器之实施示意图。第五图系为本创作第三实施例中,于一狭缝阀门之两侧缘各别设置有一发射器及一接收器之实施示意图或于一狭缝阀门与一狭缝之两侧,各别设置有一发射器及一接收器之实施示意图。第六图系为本创作第四实施例中,于一狭缝阀门之一侧缘上同时设置有一发射器及接收器,而于另一侧缘上设置有一反射器之实施示意图,或于一狭缝阀门之一侧上同时设置有一反射器之实施示意图,而于一狭缝之一侧上设置有一反射器之实施示意图。第七图系为本创作第五实施例中,于一狭缝阀门之一侧缘上设置一发射端,于另一侧缘上则设置有一接收端,而发射器及接收器则设置于该狭缝阀门之外,藉由光纤作为传导媒介之示意图或于一狭缝阀门之一侧设置发射端,于另一狭缝之一侧设置接收端,而发射器及接收器则设置于该狭缝阀门之外,藉由光纤作为传导媒介之示意图。第八图系为本创作第六实施例中,于一狭缝阀门之一侧上设置一近接开关,可单独侦测是否有异物(例如晶圆)进入侦测之范围内。 |
