发明名称 Formkörper aus pyrolytischem Bornitrid und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE69609797(D1) 申请公布日期 2000.09.21
申请号 DE19966009797 申请日期 1996.09.30
申请人 ADVANCED CERAMICS CORP., LAKEWOOD 发明人 HONMA, JUN;MINO, KOTARO
分类号 C01B21/064;C04B35/583;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/38;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/30;C23C16/36;C04B35/00 主分类号 C01B21/064
代理机构 代理人
主权项
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