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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON POSITIV ARBEITENDEN PHOTORESISTZUSAMMENSETZUNGEN, DIE P-KRESOLOLIGOMERE MIT NIEDRIGEN METALLIONENGEHALTEN ENTHALTEN
摘要
申请公布号 DE69518442(D1) 申请公布日期 2000.09.21
申请号 DE19956018442 申请日期 1995.12.21
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN 发明人 RAHMAN, DALIL;KHANNA, N.;AUBIN, P.;MCKENZIE, DOUGLAS
分类号 G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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