发明名称 带有保护层的器件及器件所用保护层的制造方法
摘要 本发明涉及一种带有保护层的器件,以及具有保护层的表面的涂层方法,特别是器件所用保护层涂层方法。保护层在其厚度上改变其性能。
申请公布号 CN1267394A 申请公布日期 2000.09.20
申请号 CN98808247.0 申请日期 1998.08.07
申请人 戴姆勒-克莱斯勒股份公司 发明人 弗兰克·斯图班;于尔根·怀尔德;加伯里勒·斯托迪格尔
分类号 H01L21/56;H01L23/31 主分类号 H01L21/56
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 张兆东
主权项 1.带有保护层的器件,该保护层至少局部地覆盖着该器件,而且本身具有不同的化学和/或物理性能,其特征在于:保护层(7.1,7.2,7.3由单一的层构成,而且在其厚度上具有准连续地不同的化学和/或物理材料性能。
地址 德国斯图加特