发明名称 | 液相外延水平生长晶体薄膜用的容器 | ||
摘要 | 一种液相外延水平生长晶体薄膜用的容器,它包括相互紧密耦合的容器厢体、滑动板和滑动样品室三部分;其中容器厢体为上面敞口的空心长方体结构;一滑动样品室,该滑动样品室包括一样品室主体和两个护板,该样品室主体概似门形,该滑动样品室置于容器厢体;一滑动板,该滑动板为长方体结构,该滑动板盖于容器厢体的敞口上;本实用新型能够在地面模拟空间生长的液相外延生长容器,用这种容器在地面也能生长出高质量的晶体。 | ||
申请公布号 | CN2397130Y | 申请公布日期 | 2000.09.20 |
申请号 | CN99248214.3 | 申请日期 | 1999.10.10 |
申请人 | 中国科学院力学研究所;中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 钟兴儒;徐自亮;田金法;吴金良;陈诺夫 |
分类号 | C30B19/06 | 主分类号 | C30B19/06 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
主权项 | 1、一种液相外延水平生长晶体薄膜用的容器,其特征在于:它包括相互紧密耦合的容器厢体、滑动板和滑动样品室三部分;其中容器厢体为上面敞口的空心长方体结构;一滑动样品室,该滑动样品室包括一样品室主体和两个护板,该样品室主体概似门形,该滑动样品室置于容器厢体;一滑动板,该滑动板为长方体结构,该滑动板盖于容器厢体的敞口上。 | ||
地址 | 100080北京市海淀区中关村路15号 |