发明名称 液相外延水平生长晶体薄膜用的容器
摘要 一种液相外延水平生长晶体薄膜用的容器,它包括相互紧密耦合的容器厢体、滑动板和滑动样品室三部分;其中容器厢体为上面敞口的空心长方体结构;一滑动样品室,该滑动样品室包括一样品室主体和两个护板,该样品室主体概似门形,该滑动样品室置于容器厢体;一滑动板,该滑动板为长方体结构,该滑动板盖于容器厢体的敞口上;本实用新型能够在地面模拟空间生长的液相外延生长容器,用这种容器在地面也能生长出高质量的晶体。
申请公布号 CN2397130Y 申请公布日期 2000.09.20
申请号 CN99248214.3 申请日期 1999.10.10
申请人 中国科学院力学研究所;中国科学院半导体研究所 发明人 钟兴儒;徐自亮;田金法;吴金良;陈诺夫
分类号 C30B19/06 主分类号 C30B19/06
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1、一种液相外延水平生长晶体薄膜用的容器,其特征在于:它包括相互紧密耦合的容器厢体、滑动板和滑动样品室三部分;其中容器厢体为上面敞口的空心长方体结构;一滑动样品室,该滑动样品室包括一样品室主体和两个护板,该样品室主体概似门形,该滑动样品室置于容器厢体;一滑动板,该滑动板为长方体结构,该滑动板盖于容器厢体的敞口上。
地址 100080北京市海淀区中关村路15号
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