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发明名称 PROCESS FOR REMOVING RESIDUES FROM A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1024965(A4) 申请公布日期 2000.09.20
申请号 EP19980944639 申请日期 1998.09.01
申请人 ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC. 发明人 LOVE, M., LEE, JR.;HONDA, KENJI
分类号 C11D3/00;C11D7/10;C11D7/26;C11D7/32;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3213;(IPC1-7):B44C1/22;H01L21/00 主分类号 C11D3/00
代理机构 代理人
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