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发明名称 Ferroelectric capacitor for semiconductor integrated circuit and method for manufacturing the same
摘要
申请公布号 EP0749167(B1) 申请公布日期 2000.09.20
申请号 EP19960109392 申请日期 1996.06.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人 NOMA, ATSUSHI;UEDA, DAISUKE
分类号 H01G4/12;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792;H01L29/92;(IPC1-7):H01L29/92 主分类号 H01G4/12
代理机构 代理人
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