| 摘要 |
<p>L'invention concerne une structure étalon élémentaire (110) pour la détermination des caractéristiques RF d'une sonde de circuit intégré RF. Selon l'invention, la structure étalon comprend au moins deux plages de contact (102, 103) déposées sur un substrat de silicium (101) par l'intermédiaire d'une couche électriquement isolante (104), au moins une charge étalon mesurable depuis les plages de contact, et un écran conducteur (106) enterré sous la couche isolante. L'invention concerne également un circuit étalon comprenant une pluralité de structures étalons élémentaires agencées de manière à présenter des plages de contact correspondant par leur emplacement à des plages de connexion RF d'un circuit intégré à tester. <IMAGE></p> |
