热管真空集热管镀膜板芯及其制造方法

摘要

本发明涉及一种用于热管真空集热管的镀膜板芯及其制备方法,它是在一个具有加热、轰击清洗及负偏压装置的三级磁控溅射镀膜机中经溅射铝靶而在金属基体上沉积生成一个铝－氮－碳金属陶瓷型渐变膜层,镀膜工艺中的反应气体为氮气和乙炔气体。本发明的镀膜有强的太阳光吸收率和低的红外发射率,耐磨性高,与基体的结合力强,而且,本发明克服了扩散泵油的氧化问题。

主权项

1、一种用于热管真空集热管的镀膜板芯，其特征在于，它包括一个经光亮处理的金属基体，在该基体的表面沉积有一个铝—氮—碳渐变吸收膜，其厚度为0.15×10-6-1×10-6M。