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发明名称
摘要
申请公布号	JP3088123(B2)	申请公布日期	2000.09.18
申请号	JP19910085141	申请日期	1991.04.17
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;B65G49/05;B65G49/07;B65G65/00;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/306	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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