发明名称 Improvements in and relating to a process and apparatus for the production of thin deposits upon a support by decomposition of a gaseous material
摘要
申请公布号 GB760328(A) 申请公布日期 1956.10.31
申请号 GB19530015988 申请日期 1953.06.10
申请人 ERIE RESISTOR LIMITED;ARTHUR FRANCIS DREWETT 发明人
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01B1/00;H01C17/20 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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