发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING
摘要
申请公布号 KR100266426(B1) 申请公布日期 2000.09.15
申请号 KR19960005687 申请日期 1996.03.05
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MIURA, HIDEO;IKEDA, SUJI;SUZUKI, NORIO;HAGIWARA, YASUHIDE;OOTA, HIROUKI;NISIMURA, ASAO
分类号 H01L21/316;H01L21/28;H01L21/318;H01L21/321;H01L21/324;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/51;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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