发明名称 Meßeinrichtung sowie Verfahren zu deren Herstellung
摘要 Eine im ganzen mit (1) bezeichnete Meßeinrichtung zum Untersuchen eines flüssigen oder fließfähigen Mediums (2) weist wenigstens zwei auf einer Substratschicht (3) befindliche, elektrisch und/oder optisch leitfähige Schichten oder Schichtbereiche (5a, 5b, 6a, 6b, 7a, 7b) auf, die elektrisch und/oder optisch gegeneinander isoliert sind. Wenigstens eine dieser Schichten oder einer dieser Schichtbereiche (5a, 5b, 6a, 6b, 7a, 7b) ist Teil eines Schichtstapels (4), der mehrere auf der Substratschicht (3) übereinander angeordnete Schichten aufweist. An seiner der Substratschicht (3) abgewandten Seite weist der Schichtstapel eine Ausnehmung auf, die an die elektrisch und/oder optisch leitfähigen Schichten oder Schichtbereiche (5a, 5b, 6a, 6b, 7a, 7b) angrenzt. Wenigstens eine in dem Schichtstapel (4) befindliche elektrisch und/oder optisch leitfähige Schicht oder der wenigstens eine in dem Schichtstapel befindliche elektrisch und/oder optisch leitfähige Schichtbereich (5a, 5b, 6a, 6b, 7a, 7b) ist mit Abstand vom Boden (11) der Ausnehmung (10) angeordnet.
申请公布号 DE19907164(A1) 申请公布日期 2000.09.14
申请号 DE1999107164 申请日期 1999.02.19
申请人 MICRONAS INTERMETALL GMBH 发明人 IGEL, GUENTER;GAHLE, HANS-JUERGEN;LEHMANN, MIRKO
分类号 G01N21/64;G01N21/03;G01N27/07;G01N27/22;(IPC1-7):G01N1/28 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
主权项
地址