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发明名称 Ohmische Elektrode und Verfahren für ihre Herstellung
摘要
申请公布号 DE69422559(T2) 申请公布日期 2000.09.14
申请号 DE1994622559T 申请日期 1994.09.06
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 TODA, NAOHIRO;NISHIBAYASHI,YOSHIKI;TOMIKAWA, TADASHI;SHIKATA, SHIN-ICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/04;H01L21/285;H01L21/324;H01L29/45;H01L33/34;H01L33/40;(IPC1-7):H01L29/40;H01L33/00 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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