发明名称 Symmetrischer Thyristor mit verringerter Dicke und Herstellungsverfahren dafür
摘要 Die Erfindung betrifft einen Thyristor mit einer ersten Zone (1), einer zweiten Zone (2), einer dritten Zone (3), einer vierten Zone (4), wobei mindestens eine Steuerelektrode (7) mit der zweiten (2) und/oder dritten (3) Zone verbunden ist, sowie ein Herstellungsverfahren dafür. DOLLAR A Um bei einem symmetrischen Thyristor die statische und dynamische Verlustleistung zu reduzieren, wird vorgeschlagen, daß eine Feldstoppzone (8) von dem zweiten Leitfähigkeitstyp annähernd in der Mitte der zweiten Zone (2) angeordnet wird, so daß sie die zweite Zone (2) in zwei im wesentlichen gleich große Abschnitte unterteilt. Dazu wird eine Feldstoppschicht (8) auf einer inneren Oberfläche (12) eines ersten Wafers (9) oder eines zweiten Wafers (10) erzeugt, und der erste Wafer (9) wird mit dem zweiten Wafer (10) verbunden, so daß die beiden inneren Oberflächen (12) der beiden Wafer (9, 10) aufeinander liegen.
申请公布号 DE19909105(A1) 申请公布日期 2000.09.14
申请号 DE19991009105 申请日期 1999.03.02
申请人 SIEMENS AG 发明人 SCHULZE, HANS-JOACHIM;REZNIK, DANIEL
分类号 H01L21/332;H01L29/74;(IPC1-7):H01L29/74 主分类号 H01L21/332
代理机构 代理人
主权项
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