发明名称 |
导电材料层厚度的测定方法 |
摘要 |
在导电材料层厚度的测定方法中,取决于原材料不同品质的测量误差被消除。在此,为每种原材料求出一个无量纲的特性值K。借助一个校正特性线,可以为每个特性值K对应一个修正系数F,利用该修正系数可以将层厚测量值D<SUB>M</SUB>转换成实际层厚值D<SUB>W</SUB>。因此,取决于原材料不同品质的不同磁性和电学性能的影响可以被尽可能地消除。 |
申请公布号 |
CN1266483A |
申请公布日期 |
2000.09.13 |
申请号 |
CN99800686.6 |
申请日期 |
1999.03.24 |
申请人 |
罗伯特·博施有限公司 |
发明人 |
克劳斯·多布勒;汉斯约里·哈赫特勒尔;赖因哈德·迪姆克;弗朗茨·奥夫·德海德;里夏德·布拉特尔特;约瑟夫·韦伯 |
分类号 |
G01B7/06;//(G01B121:02,101:00) |
主分类号 |
G01B7/06 |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
刘兴鹏 |
主权项 |
1.一种在确定导电材料层(20)的厚度时消除测量误差的方法,该材料层(20)镀覆在铁磁材料体(17)上,借助至少一个由交变电流流过的测量线圈(14)利用其电感变化来进行这种测定,其中,借助以下等式计算出一个无量纲的特性值(K):K=e·(LSA-L0)/(L∞-LSA)其中,该特性值(K)借助一条校正特性线被转换成修正系数(F),并且借助以下等式将厚度测量值(DM)转换成实际厚度值(DW):DW=DM/F |
地址 |
德国斯图加特 |