气敏器件及其制造方法

摘要

一种薄膜气敏器件及其制造方法，它包括硅衬底；在硅衬底表面上形成的绝缘层；在绝缘层表面上形成的折线形加热器；在绝缘层表面上形成的与加热器平行的折线形温度敏感元件，为了使加热器和温度敏感元件电绝缘，在绝缘层上形成的层间绝缘层；在加热器和温度敏感元件之间的层间绝缘层上形成的多个电极；在电极上以阵列形式设置的多个气敏层对，用来对被检测气体反应；在属于气敏层对的一个气敏层上形成的多个气屏蔽层，以屏蔽被检测气体，使该气敏层不对被检测气体反应。

主权项

1、一种薄膜气敏器件，包括：一个硅衬底；在所说硅衬底的表面上形成的绝缘层；在所说绝缘层的表面上形成的折线形加热器；在所说绝缘层表面上，平行于所说加热器形成的折线形温度敏感元件；在所说绝缘层上形成的、使所说加热器和温度敏感元件电绝缘的层间绝缘层；在所说加热器和温度敏感元件之间的所说层间绝缘层上，形成的多个电极；在所说电极上以阵列形式设置的多个气敏层对，用以对被检测气体反应；以及在所说气敏层对之中的一个气敏层上形成的多个气屏蔽层，用以屏蔽所说的被检测气体，使所说气敏层不对所说被检测气体反应。