| 发明名称 |
Method and device for using ArF photoresist |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2320718(B) |
申请公布日期 |
2000.09.13 |
| 申请号 |
GB19970027474 |
申请日期 |
1997.12.30 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
JAE CHANG * JUNG;CHEOL KYU * BOK;KI HO * BAIK |
| 分类号 |
C07C67/347;C07C69/753;C08F2/00;C08F2/02;C08F2/06;C08F4/04;C08F4/34;C08F216/06;C08F222/06;C08F232/04;C08F232/08;C08F234/02;C08K5/00;C08L45/00;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08F32/08;G03F7/038 |
主分类号 |
C07C67/347 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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