| 发明名称 |
OPTICAL DEVICE, METHOD OF CLEANING THE SAME, PROJECTION ALIGNER, AND METHOD OF PRODUCING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0997761(A4) |
申请公布日期 |
2000.09.13 |
| 申请号 |
EP19980923177 |
申请日期 |
1998.06.09 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
AKAGAWA, MASAYUKI;YAMASHITA, OSAMU;TANIUCHI, TAICHI |
| 分类号 |
G02B27/00;G03F7/20;(IPC1-7):G02B27/00;H01L21/30 |
主分类号 |
G02B27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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