| 主权项 |
1.一种探针装置,其特征在于,备有:载置有被检查体,可转动及在水平、垂直方向移动之载置台;配设在载置台上方,为了对被检查体进行电气检查而接触于载置在载置台上之被检查体之探针;设在载置台,载置有用以研磨探针之研磨体之研磨体载置部;收纳研磨体之收纳机构;以及,在收纳机构与研磨体载置部之间运送研磨体之运送机构。2.如申请专利范围第1项之探针装置,其特征在于:上述载置台系藉其本身之移动,使研磨体载置部上之研磨体接触到探针,以研磨探针。3.如申请专利范围第1项之探针装置,其特征在于:载置台设有两个研磨体载置部。4.如申请专利范围第1项之探针装置,其特征在于:上述收纳机构备有:收容使用前之多数研磨体之第1收纳部;收容多数使用后之研磨体之第2收纳部;固定第1收纳部与第2收纳部之固定机构;以及,支持固定机构之支持机构。5.如申请专利范围第4项之探针装置,其特征在于:第1收纳部由箱体构成,上述收纳机构备有:通过形成在第1收纳部底面之开口部,将第1收纳部内之研磨体推向上方之上推机构。6.如申请专利范围第4项之探针装置,其特征在于:在第1收纳部内,交互推叠收容有两种研磨体。7.如申请专利范围第4项之探针装置,其特征在于:上述运送机构备有:将研磨体从第1收纳部运送到研磨体载置部之第1运送机构;及将研磨体从研磨体载置部运送到第2收纳部之第2运送机构;第1及第2运送机构备有:可真空吸着研磨体之保持体;支持保持体之臂;以及,使臂沿着一定之运送路径来回移动之驱动机构。8.一种探针之研磨方法,其特征在于:以运送机构运送收纳在研磨体收纳部之研磨体,将其载置于配设在载置被检查体用之载置台之研磨体载置部上;藉移动载置台,使研磨体载置部上之研磨体接触于,配设于载置台之上方,且为了对被检查体进行电气检查而可接触在载置放载置台上之被检查体之探针,同时藉此研磨体研磨探针;并藉运送机构将载置于研磨体载置部之使用后之研磨体运送至研磨体收纳部,同时藉运送机构运送收纳在研磨体收纳部之使用前之研磨体,将其载置于研磨体载置部。9.一种探针之研磨方法,其特征在于:以运送机构运送收纳在研磨体收纳部之同一种之两个研磨体,分别将其载置于配设在载置被检查体用之载置台之两个研磨体载置部上;藉移动载置台,使至少一方之研磨体载置部上之研磨体接触于,配设于载置台之上方,且为了对被检查体进行电气检查而可接触在载置于载置台上之被检查体之探针,同时藉此研磨体研磨探针;并藉运送机构,将至少载置于一方之研磨体载置部之使用后之研磨体运送至研磨体收纳部,同时藉运送机构运送收纳在研磨体收纳部之使用前之研磨体,将其载置于研磨体载置部。10.一种探针之研磨方法,其特征在于:以运送机构运送收纳在研磨体收纳部之表面粗糙度不相同之两个研磨体,将其分别载置于配设在载置被检查体用之载置台之两个研磨体载置部上;藉移动载置台,使载置于一方之研磨体载置台上之表面较粗糙之研磨体接触于,配设在载置台之上方且为了对被检查体进行电气检查而可接触在载置于载置台上之被检查体之探针,同时藉此研磨体研磨探针;而在藉表面较粗糙之研磨体研磨后,移动载置台,令载置于另一方之研磨体载置部上之表面较细微之研磨体接触于探针,同时藉此研磨体研磨探针;并藉运送机构,将载置于两个研磨体载置部之使用后之研磨体运送至研磨体收纳部,同时藉运送机构运送收纳在研磨体收纳部吏使用前之研磨体,将其分别载置于两个研磨体载置部。11.一种探针之研磨方法,其特征在于:以运送机构运送收纳在研磨体收纳部之研磨体,及表面镀金之金板,将其分别载置于配设在载置被检查体用之载置台之两个研磨体载置部上;藉移动载置台,使载置于一方之研磨体载置部上之研磨体接触于,配设在载置台上方且为了对被检查体进行电气检查而可接触在载置于载置台上之被检查体之探针,同时藉此研磨体研磨探针;在以研磨体研磨后,藉移动载置台,使载置于另一方之研磨体载置部上之金板接触在探针,同时,介由此金板测量研磨后之探针之接触电阻;并以运送机构将载置于一方之研磨体载置部之使用后之研磨体,运送到研磨体收纳部,同时以运送机构运送收纳在研磨体收纳部之使用前之研磨体,将其分别载置于研磨体载置部。12.如申请专利范围第11项之探针之研磨方法,其特征在于,在藉研磨体研磨探针以前,藉移动载置台,使载置于载置部上之金板接触于探针,而介由此金板测量探针之接触电阻。图式简单说明:第一图系本发明一实施例之探针装置之斜视图;第二图系其一部分露出在第一图之探针装置外部之自动更换装置之斜视图;第三图系自动更换装置之运送机构之斜视图;第四图A系自动更换装置之收纳机构之斜视图;第四图B系表示第1收纳箱与固定机构之连接状态之剖面图;第五图系自动更换装置之运送机构之正面图;第六图系表示设置在待机位置之第1收纳箱,及配设在其周围之检测器之图;第七图系表示自动更换装置之驱动电路之电路图;第八图A系主夹盘之斜视图;第八图B系主夹盘之研磨板载置领域之剖面图;第八图C系表示研磨板对探针之移动方向之图;第八图D系表示研磨板对探针之移动方向之图;第八图E系表示研磨板对探针之移动方向之图;第八图F系表示研磨板对探针之移动方向之图;第九图系传统之探针装置之斜视图;第十图系第九图之探针装置之探测部之架构图。 |
