发明名称 半导体封止用树脂组成物、使用该组成物之半导体装置及半导体装置之制法
摘要 本发明系关于一种安全性、耐湿性及难燃性俱优且成形性亦佳之半导体封止用树脂组成物、及使用此半导体封止用树脂组成物实行半导体元件之树脂封止所得之可靠性优异之半导体装置。本发明所提供之半导体封止用树脂组成物系由:热硬性树脂、硬化剂及下式(I)所示之多面体形状之复合金属氢氧化物组成;m(MaOb).n(QdOe).cH2O.....(I)式中,M及Q为不同之金属元素,Q为元素周期表中之由IVa、Va、VIa、VIIa、VIII、Ib,IIb选出之族群中之金属元素。又,m、n、a、b、c、d、e为正数,可为相同或不同之值。依本发明,树脂组成物可抑制流动性之降低,在转送模制等时不发生问题,可提高成形性,甚且可提高焊接性及机械强度。
申请公布号 TW405233 申请公布日期 2000.09.11
申请号 TW087105594 申请日期 1998.04.14
申请人 日东电工股份有限公司 发明人 山本裕子;山口美穗;执行瞳
分类号 C08L63/00;H01L23/00 主分类号 C08L63/00
代理机构 代理人 杜汉淮 台北巿吉林路二十四号九楼I室
主权项 1.一种半导体封止用树脂组成物,系由下列成份组 成; (A)热硬性树脂; (B)硬化剂; (C)由下示通式(I)所示之多面体形状之复合金属氢 氧化物; m(MaOb).n(Qde).cH2O....(I) 式中,M及Q不同之金属元素,Q为元素周期表中之由 IVa、Va、VIa、VIIa、VIII、Ib,IIb选 出族群中之金属元素;又,m、n、a、b、c、d、e为正 数,可为相同或不同之値。2.如申请专利范围第1项 之半导体封止用树脂组成物,其中式(I)中之代表金 属元素之M系选 自铝、镁、钙、镍、钴、锡、锌、铜、铁、钛及 硼之群中之至少一种金属。3.如申请专利范围第1 项之半导体封止用树脂组成物,其中式(I)中之代表 金属元素之Q系选 自铁、钴、镍、钯、铜、锌及镉之群中之至少一 种金属。4.如申请专利范围第1或2或3项之半导体 封止用树脂组成物,其中式(I)代表之复合金属氢氧 化物之平均粒径为0.5-10m。5.如申请专利范围第1 或2或3项之半导体封止用树脂组成物,其中式(I)代 表之复合金属氢氧 化物之宽长比为1-8。6.如申请专利范围第1或2或3 项之半导体封止用树脂组成物,其中复合金属氢氧 化物全体中 之上式(I)代表之具有多面体形状之复合金属氢氧 化物之所占比例为30-100重量%范围。7.如申请专利 范围第1或2或3项之半导体封止用树脂组成物,其中 式(I)所代表之复合金属氢 氧化物为 sMgO.(1-s)NiO.cH2O 其中0<s<1,0<c≦1。8.如申请专利范围第1或2或3项之 半导体封止用树脂组成物,其中式(I)所代表之复合 金属氢 氧化物为 sMgO.(1-s)ZnO.cH2O 其中0<s<1,0<c≦1。9.如申请专利范围第1或2或3项之 半导体封止用树脂组成物,其中式(I)代表之复合金 属氢氧 化物之含有量为树脂组成物全体之1-30重量%。10. 如申请专利范围第1或2或3项之半导体封止用树脂 组成物,其中该半导体封止用树脂组成 物之硬化体之萃取液之pH値为6.0-8.0范围,且其氯离 子浓度对1g之树脂组成物硬化体为 200m以下。11.如申请专利范围第10项之半导体封 止用树脂组成物,其中该树脂组成物之硬化体之厚 度 在1/16寸时,其在UL94燃烧试验乃显示相当于V-0耐燃 性。12.如申请专利范围第1或2或3项之半导体封止 用树脂组成物,其中该热硬性树脂之组成物 (A)系环氧树脂。13.如申请专利范围第12项之半导 体封止用树脂组成物,其中该环氧树脂为酚醛型环 氧树脂 。14.如申请专利范围第12项之半导体封止用树脂 组成物,其中该环氧树脂为双苯基型环氧树 脂。15.如申请专利范围第1或2或3项之半导体封止 用树脂组成物,其中该硬化剂之成份(B)系酚 树脂。16.如申请专利范围第1或2或3项之半导体封 止用树脂组成物,其中该硬化剂之成份(B)系酚 芳烷基树脂。17.如申请专利范围第1或2或3项之半 导体封止用树脂组成物,其中含有多面体形状之复 合金 属氢氧化物(成份C)及无机填充剂之合计量为半导 体封止用树脂组成物全体之60-92重量%。18.如申请 专利范围第17项之半导体封止用树脂组成物,其中 该复合金属氢氧化物(成份C)及 无机填充剂之合计量为半导体封止用树脂组成物 之70-90重量%。19.如申请专利范围第17项之半导体 封止用树脂组成物,其中该无机填充剂为二氧化矽 粉末 。20.如申请专利范围第19项之半导体封止用树脂 组成物,其中该二氧化矽粉末为熔融二氧化 矽粉末。21.一种半导体装置,其系使用申请专利范 围1-20项之任一项之半导体封止用树脂组成物封 装而成者。22.一种半导体装置之制法,其系使用申 请专利范围第1-20项之任一项之半导体封止用树脂 组成物,藉由转送模制法将半导体元件树脂封止而 制造。23.一种半导体装置之制法,其系使用申请专 利范围第1-20项之任一项之半导体封止用树脂 组成物构成之片状封止材料制造为特征者。图式 简单说明: 第一图为例示习用之复合金属氢氧化物之结晶形 状之一之六角板形状之斜视图。
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