| 主权项 |
1.一种用于一步进机(stepper)之中央对准单元(centertable unit)的导引装置,该步进机系用于一半导体黄光制程,用来使半导体晶片曝光,该中央对准单元系以复数根固定螺丝将其固定于该步进机之机台上,以及复数根定位螺丝来调整该中央对准单元于该步进机之机台上的位置,该复数根固定螺丝及定位螺丝均可以一特定工具来安装或拆卸,该导引装置包含有:一定位器,用来与该中央对准单元之一特定部位相卡合以使该导引装置得以固定于该中央对准单元之上;以及复数根导引管,固定于该定位器之上,用来导引该特定工具至该中央对准单元之复数个预定之固定螺丝或定位螺丝以安装或拆卸该复数个预定之固定螺丝或定位螺丝;其中当该导引装置之定位器被卡合于该中央对准单元之特定部位时,该复数根导引管会对准该复数个预定之固定螺丝或定位螺丝,而一使用者可利用该特定工具并经由该复数根导引管来逐一安装或拆卸该复数个预定之固定螺丝或定位螺丝。2.如申请专利范围第1项之导引装置,其中每一固定螺丝或定位螺丝之顶端设有一六角形孔洞,该特定工具系为一L形之六角扳手,其底端可伸入每一固定螺丝或定位螺丝顶端之六角形孔洞以安装或拆卸该固定螺丝或定位螺丝。3.如申请专利范围第2项之导引装置,其中每一导引管系为一中空圆管,当该导引装置之定位器被卡合于该中央对准单元之特定部位时,该L形六角扳手之底端可逐一插入该复数根导引管并经由该复数根导引管而逐一接触该复数个预定之固定螺丝或定位螺丝顶端之六角形孔洞。4.如申请专利范围第1项之导引装置,其中该中央对准单元之特定部位设有复数个用来水平承接一半导体晶片之接头,而该定位器包含有复数个孔洞用来卡合该中央对准单元之复数个接头以使该导引装置得以固定于该中央对准单元之上。5.如申请专利范围第4项之导引装置,其中该中央对准单元之特定部位设有三个陶瓷接头用来承接一半导体晶片。 |
