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Das erfindungsgemässe Goniometer (10) besitzt Aktoren zur Bewegung der Probe (12), deren Antrieb durch Piezoelemente bewirkt wird. Mindestens ein solcher Aktor ist im Vakuumbereich (3) eines Elektronenmikroskops angeordnet. Das Goniometer (10) kann vollständig im Vakuumbereich angeordnet werden und stellt dann eine euzentrische Rotation des zu untersuchenden Gebiets (12') einer Probe (12) sicher.
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