发明名称 NOUVEAU TRANSISTOR A IMPLANTATION D'INDIUM DANS UN ALLIAGE SiGe ET PROCEDES DE FABRICATION
摘要 <P>Le nouveau transistor selon l'invention comprend dans une région de canal en silicium, une couche enterrée d'un alliage Si1-x Gex où 10-5 <= x <= 4. 10-1 , de préférence 10-4 <= x 10-1 , dans laquelle est implantée une dose d'indium. La dose d'indium implantée varie de 1. 1011 à 4. 1015 atomes/ cm2 , de préférence de 5. 1012 à 5. 1013 atomes/ cm2 . Application aux transistors CMOS.</P>
申请公布号 FR2790598(A1) 申请公布日期 2000.09.08
申请号 FR19990002513 申请日期 1999.03.01
申请人 STMICROELECTRONICS SA 发明人 SKOTNICKI THOMAS;ALIEU JEROME
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/762;H01L29/10;(IPC1-7):H01L29/772;H01L29/161 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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