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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Oberflächenschleifen eines Werkstücks
摘要
申请公布号 DE69518202(D1) 申请公布日期 2000.09.07
申请号 DE19956018202 申请日期 1995.08.18
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 OHKUNI, SADAYUKI;KATO, TADAHIRO;KURDO, HIDEO
分类号 B24B7/22;B24B1/00;B24B37/04;B24B41/06;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B7/22
代理机构 代理人
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